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Silicon Labs的獨創CMOS上的MEMS振蕩器

　　Silicon Labs近日推出了一款產品-基于MEMS的Si50x振蕩器。其關鍵創新點在于使用Silicon Labs專利的CMEMS技術，CMEMS技術是把MEMS架構直接構建于標準CMOS晶圓上，從而獲完全集成的高可靠“CMOS+MEMS”單晶片解決方案。
　　推出Si50x系列產品主要是填補公司在大眾市場的產品空白，比如數碼相機、存儲和內存、ATM機、POS機、打印機等。雖然是滿足批量市場，但是Si50x的性能也還是很出眾的，總結起來就是成本更低、尺寸更小、更可靠、更高集成度、更加便利性。低成本：Si50x是在CMOS工廠大批量生產制造，工廠具有標準生產線，從而大幅降低了生產成本。小尺寸：其質量比石英晶體減小了61000倍，采用標準CMOS IC制造工藝能夠生產出三種工業標準的封裝尺寸：2mm*2.5mm、2.5mm*3.2mm和3.2mm*5mm。高可靠性：這與幾個方面的改進有關系，其一是與選用的材料有關，Si50x采用SiGe材料，這樣做的好處是，當溫度升高時，芯片上的SiGe會變硬，而其中的氧化槽會變軟，這一軟一硬的相互補充，就可以使器件的頻率漂移接近于0。其二是因為整個MEMS在CMOS之上，很近的距離使溫度傳感器的工作效率更高，響應速度也更快。其三，固定方式的不同，傳統的晶體振蕩器只有2個錨點，而Si50x有周圍四個加中心一個的5錨點固定更耐得住沖擊和振動。便利性：此產品與現有的石英或者MEMS振蕩器引腳和封裝兼容，可以實現快速替換。Si50x包括四類產品，單頻率振蕩器Si501、雙頻率振蕩器Si502、四頻率振蕩器Si503和完全可編程的振蕩器Si504，可以根據使用需要實時調節頻率。
　　現在Silicon Labs的產品由幾年前的無晶體振蕩器轉向了MEMS振蕩器，是因為后者工藝更簡單，開發周期更短。