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單晶片CMOS+MEMS技術為頻率控制市場帶來重要進步

　　在標準CMOS芯片上集成高精度振蕩器的夢想，已經由Silicon Labs公司和他們最新推出的Si50x CMEMS振蕩器系列變為現實。
　　2010年，Silicon Labs通過收購一家名為Silicon Clocks的公司，獲得了在大批量生產中把MEMS架構直接構建于標準CMOS晶圓上，實現完全集成的、高可靠性的“CMOS+MEMS”(又稱CMEMS) 技術，從而為推出單晶片(single-die)振蕩器解決方案，用以替代工業、嵌入式和消費類電子應用中的通用型晶體振蕩器(XO)，以及MEMS和傳統硅振蕩器奠定了基礎。
　　“CMEMS振蕩器具有更小尺寸、更高可靠性、更佳抗老化性以及更高集成度?！盨ilicon Labs 公司副總裁暨時序產品總經理Mike Petrowski說，“這是頻率控制市場的重要技術進步。通過結合MEMS和XO兩者的最好特性，我們能夠為成本和功耗受限的嵌入式、工業和消費類電子應用提供最佳的通用型振蕩器解決方案?！?br />　　Si50x是首個采用Silicon Labs CMEMS技術的產品系列，由于在單晶片上了集成MEMS諧振器和CMOS振蕩器電路，其能夠在CMOS工廠進行大批量生產制造，應用目標則鎖定于數碼相機、存儲和內存、ATM機、POS機和多功能打印機等領域。
　　中芯國際(SMIC)負責Si50x振蕩器的生產制造。Mike Petrowski認為，SMIC擁有一流的標準CMOS工藝生產線，支持完整振蕩器系統的晶圓探測，易于獲得最高級的質量和工藝控制。同時，由于CMEMS振蕩器是集成的單片IC，配合采用廣泛生產的模塑復合物4引腳封裝，可再次確保可預見和可靠的供應鏈。
　　與Silicon Labs所有其他振蕩器產品一樣，Si50x振蕩器可提供網絡定制的2周樣品交付周期，也可通過Silicon Labs銷售合作伙伴在客戶現場即刻編程。此外，Si50x振蕩器與現有的石英或MEMS振蕩器引腳和封裝兼容，可實現快速便捷的替換解決方案。
　　Silicon Labs Si501/2/3/4 CMEMS振蕩器現已量產，具有三種工業標準的4引腳DFN封裝尺寸：2mm×2.5mm、2.5mm×3.2mm和3.2mm×5mm。在一萬顆采購量，Si50x振蕩器單價為0.44美元起。為了方便CMEMS振蕩器評估和應用開發，Silicon Labs還提供Si501-2-3-4-EVB評估套件，價格為99美元，包括預編程的Si504器件和適合各封裝尺寸的開放插座，以方便客戶評估。