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應用材料公司攜手MEMS制造商開創感知“芯”世界

　　MEMS最早應用于汽車和打印機，如今越來越多的消費電子產品采用MEMS傳感器以實現各種智能功能，但同時也對MEMS傳感器提出更高要求：更好的性能、更小的尺寸、更低的成本。由于MEMS產業的標準化尚未落實，仍然存在“OneProduct,OneProcess”的MEMS定律，這給半導體設備制造商既帶來了巨大的技術挑戰，又創造了新的市場商機，并推動MEMS工藝不斷革新?！? 目前，MEMS制造商通過增加產能、采用更大尺寸的晶圓，以及與設計公司合作研發更小的芯片來降低生產成本。應用材料公司完全了解MEMS傳感器的設計與制造，并采用業界領先的工藝技術生產MEMS設備，包括深反應離子刻蝕、物理和化學氣相沉積、外延淀積、釋放腐蝕、化學機械研磨等設備。此外，通過與世界領先的科研機構合作，應用材料正努力研發下一代大批量、低成本的MEMS制造工藝。
　　MEMS產業在中國如火如荼地發展，眾多IC代工廠和地方政府謀劃布局，新建MEMS生產線。這是應用材料如此貼身中國市場的原因，這里有龐大的客戶群。應用材料擁有遍布全球的服務網絡和支持架構，其深厚的技術專長和最佳的解決方案可持續滿足MEMS制造商的產能需求。調節設備參數、優化工藝的效果可以直接在我們位于西安的全球開發中心最尖端的設備上看到成效。此外，MEMS制造商不僅需要可靠的設備性能，還要確保運營成本獲得改善。應用材料公司提供的解決方案，可提高設備的正常運行時間和工廠效率，可讓制造商專注于芯片制造，同時降低每片晶圓的制造成本?！睋袊⒓{技術俱樂部調研，中國涉及MEMS的代工廠主要有：中芯國際、上海先進、華虹-宏力、華潤上華，此外還有蘇州、淄博、上海等地方政府正在搭建MEMS中試平臺。
　　過去三十年信息技術經歷了計算時代、通訊時代，當前正步入“感知”時代，傳感器市場呈現爆發式增長。應用材料公司正努力擴大MEMS設備的產品組合，并提供一套完整的MEMS解決方案（包括MEMS封裝技術，如硅通孔和晶圓級鍵合），以支持各種MEMS傳感器芯片的關鍵工藝研發，攜手MEMS制造商開創感知“芯”世界。